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      光學3D形貌檢測分析系統

      簡要描述:Solarius BGA光學3D形貌檢測分析系統快速3D表面測量,應用于半導體行業的高速測量設備。

      • 產品型號:BGA
      • 廠商性質:其他
      • 更新時間:2018-12-21
      • 訪  問  量:2015

      詳細介紹

      產地類別進口

      Solarius BGA光學3D形貌檢測分析系統檢測并表征半導體器件的參數。這種快速光學3D檢測設備符合半導體行業通用標準,是品保及過程控制的理想工具。
      易于自動化
      快速非接觸量測
      適用于在線檢測
      定制化的程序和算法
      定制化的數據分析
      符合JEDEC標準
      遵循SEMI S2/S8
      BGA檢測系統是一套具備完整功能成套檢測系統。它包括一個快速非接觸式的光譜共聚焦線傳感器,能夠以納米級的分辨率每秒測量幾十萬個點并生成3D數據。系統采用測量范圍高達400mmx400mm的高精度XY運動平臺,并且配備隔振平臺。專有的分析算法提供定制化數據分析。

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